石英玻璃产品目录 从材料特性到全系列石英制品选型指南

石英玻璃（熔融石英）以其高纯度、极低热膨胀系数、优异的光学透过性和卓越的化学稳定性，成为半导体、光纤、光伏、化工、航空航天等领域不可替代的关键材料。本文整理了一份通用的石英玻璃产品目录框架，涵盖主要石英制品的分类、规格范围及典型应用，供采购选型、技术交流与方案设计时参考。

一、石英玻璃材料的基础形态

1. 透明石英玻璃（光学级/半导体级）
SiO₂含量≥99.99%，羟基含量可控制在<5 ppm或>150 ppm两档。半导体级产品金属杂质总含量低于1 ppm。

2. 不透明石英玻璃（乳白石英）
内含微米级气泡，具有良好的红外反射和散射性能，常用于加热、保温及高温观察窗等场景。

3. 掺杂石英玻璃
包括掺铈（抗紫外/耐辐射）、掺钛（超低膨胀，用于精密光学）、掺氟或掺稀土（光纤预制棒用）等。

二、石英玻璃产品目录主要分类

1. 石英管材

• 透明石英管：外径1 mm–400 mm，壁厚0.5 mm–10 mm，长度可达2米；用于半导体扩散/氧化炉管、热电偶保护管、清洗槽、气体输送管路、汞灯/卤素灯套管。
• 不透明石英管：主要用于红外加热器、电热管和高温炉内衬，外径常为10–150 mm。
• 厚壁管与大直径管：外径150–400 mm，用于大型半导体炉管、CVD反应腔体、光伏扩散炉。
• 石英管配件：法兰、旋片、内塞、气嘴、封头等，可按照图纸加工或提供半成品。

2. 石英棒/石英条

• 实心透明石英棒：直径1–50 mm，用作光学棒、光纤预制棒把持棒、研磨导辊等。
• 方棒、方块、方条：用于基板、隔热件、半导体部件安装平台。
• 不透明及微孔结构件亦可按需定制。

3. 石英舟/石英架

• 半导体扩散舟、氧化舟、清洗花篮、立式/卧式承载架，常匹配6英寸、8英寸、12英寸晶圆工艺。
• 可耐温1100–1250 ℃，纯度满足集成电路制造要求；按晶圆数量和间距要求定制。

4. 石英板/石英片/石英盘

• 石英板：厚度0.5–100 mm，幅面最长可达米级；用作耐酸耐腐视窗、隔热板、光学基板、洁净室用隔断等。
• 石英片：应用于MEMS、微流控、光学镀膜基片等；依照尺寸提供精抛、粗抛、透镜抛光状态。
• 石英盘/石英圆片/法兰盘：用于封装夹具、观察窗、端子固定盘及其他密封结构件。

5. 石英坩埚/石英罐/石英桶

• 石英坩埚：单晶硅拉晶用大尺寸坩埚（16–40英寸及以上），光伏/半导体级石英坩埚分内层与透明外层结构；还包括实验室分析坩埚及高纯耐酸坩埚。
• 反应瓶/石英罐/泡罩瓶：提供合成反应、蒸馏、计量供液接口的设计定制。

6. 石英钟罩/石英腔体/视窗器件

• **用于半导体 CVD/PVD/LPCVD 设备石英钟罩、悬挂内筒等结构件。
• 观察窗：D形石英窗口、拱形与矩形尺寸均可选，波长透过范围优化至DUV/VUV。通常配置法兰加热或者直接窗口轴向密封。

7. 毛坯半成品及按图加工

凭产业目录推进任一层级：客户自主项目清单中往往列有以下产品

- AOI精密组件制造（光纤烧结台架、玻璃基片周转架、台板等过渡治具）
- 科研订制产品的数据包括允许的公差界定与每个规制的清洗环节
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